Рис. 1
Рис. 2
Рис. 3
Рис. 4
|
Биморфное
(униморфное) деформируемое (адаптивное) зеркало
(рис. 1, 2)
состоит из двух (одной) тонких пластин
пьезоэлектрического
материала, приклеенных
к подложке. На пьезо-пластинки напылены особым образом
расположенные
электроды.
Общая поверхность склеенных пластин биморфа (или задняя
поверхность подложки униморфа) является земляной шиной.
Оптическая поверхность зеркала сформирована на передней
поверхности подложки. Поляризацию пьезоэлектродов подложки
выбирают таким образом, чтобы заставить пластину расширяться или
сжиматься при приложении напряжения к электродам.
Амплитуда
расширения/сжатия подложки
и пьезо-пластин приводит к изгибу биморфа (униморфа) таким же
образом, как при нагреве изгибается биметаллическая пластинка.
Типичное расположение
электродов зеркала показано на
рис. 3.
Такое их расположение позволяет формировать
сложные рельефы
поверхности, форма
которых задается с компьютера.
Функции отклика
электродов адаптивного зеркала представлены на
рис. 4.
Деформируемые зеркала
такого типа разработаны для увеличения качества
изображений сетчатки
глаза человека,
получаемых с помощью фундус-камер, для
контроля и
формирования лазерных пучков,
а также для применения в
оптической связи
и
астрономии.
Техническая
спецификация:
|
подложка |
кварц, стекло |
|
диаметр
апертуры |
30-60 мм |
|
амплитуда
смещения |
15-40 мкм |
|
число
управляемых электродов |
13-24 |
|
управляющее
напряжение (макс) |
± 300 В |
|
резонансная
частота |
>2000 Гц |
|
отражающие
покрытия |
защищенные Al, Ag, Cu,
многослойные
диэлектрические покрытия
с отражением >99% |
|
порог
оптического разрушения |
до 0,1 кВт/см2
(в непрерывном режиме)
до 4 Дж/см2
(в импульсном режиме) |
|
качество
поверхности
(scratch-dig) |
60-40 |
|
гистерезис |
<15% |
|
диапазон
рабочих температур |
+10..+40 °C |
|
диапазон
температур хранения |
-30..+70 °C |
|
вес (макс) |
0,15 кг |
|
размер
(диаметр) |
55×55
мм |
|